5月8日，广东省电子学会在广州组织召开了“MEMS声学传感器的大背腔线路板高效精密制造技术及产业化”项目科技成果鉴定会议。经专家鉴定，该项目成果整体技术达到国际先进水平。
该项目发明了新型MEMS声学传感器大背腔线路板集成结构，研发了MEMS腔体板冲切与锣板精修协同技术、精准线路图形转移成型技术、激光声孔精准加工技术及AI协同电子检测技术，实现了大背腔的高精度尺寸腔体、低侧壁粗糙度、高精度尺寸声孔及A/B面线路同心度的精准控制。项目产品已获相关知名企业应用，反馈良好。经权威单位检测，产品在A/B面线路同心度、声孔孔径公差、声孔对位精度、腔体尺寸精度及粗糙度等方面的技术指标，均符合IPC相关标准要求。
项目技术产品。
项目由东莞市科佳电路有限公司、东莞华南设计创新院和广东工业大学合作完成。其间获得发明专利1件、实用新型专利8件授权。项目成果为下游MEMS麦克风、压力传感器等核心器件产业提供了关键配套支撑，推动我国MEMS腔体线路板行业向高端化、智能化方向升级，取得了良好的经济和社会效益。
鉴定委员会由来自中山大学、华南理工大学、暨南大学、广东省公安厅、中国电器科学研究院股份有限公司、广东省电路板行业协会、广东省电子学会的7位专家组成。委员会认真听取了成果完成单位的汇报，审阅了科技查新报告、检测报告、应用证明等材料，经质询和讨论，一致认为，该项目成果整体技术达到国际先进水平，同意通过科技成果鉴定。
南方+记者 李鹏程
通讯员 廖发盆 徐承升
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